研磨墊
金剛石研磨墊屬于固結(jié)磨料研磨技術(shù)范疇，通過獨特設(shè)計的墊子構(gòu)造，采用金剛石微粉與樹脂螯合而成，可用于玻璃基板(微晶、石英、硼硅酸鹽、白板、藍寶石)、半導體晶圓(單晶硅、碳化硅)、壓電端子(鉭酸鋰)以及精密陶瓷(氧化鋁、氮化鋁、氮化硅)等硬脆材料的研磨減薄工序。
產(chǎn)品特點：
(1)對加工工件加工區(qū)具有較高的選擇性，而對加工工件的材質(zhì)沒有選擇性，已較少的材料去除量即可達到加工工件的全局平坦化效果；
(2)加工效率高，功耗時間少；
(3) 具有一定的彈性，在研磨壓力下磨料具有一定的退讓性，因此使用同樣粒度的磨料進行研磨時，固結(jié)磨料研磨加工后的工件表面質(zhì)量較好；
(4)磨料顆粒是固著在研磨墊上，具有較長的使用壽命，提高了磨料利用率，節(jié)約了成本、更加環(huán)保；
(5)在固結(jié)磨料研磨墊的磨料層出現(xiàn)鈍化現(xiàn)象時，可僅通過修刃處理即可恢復固結(jié)磨料研磨墊的鋒利性，保持材料去除率的穩(wěn)定一致；
(6) 加工后工件易于清洗，能保證加工后工件的表面質(zhì)量。
應(yīng)用領(lǐng)域：
應(yīng)用于微晶玻璃、石英玻璃、氧化鋁陶瓷、氮化鋁陶瓷等硬脆材料的研磨。
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